Operating Pressure Range การแบ่งช่วงความดันสุญญากาศที่ใช้ทำงาน

Operating Pressure Range การแบ่งช่วงความดันสุญญากาศที่ใช้ทำงาน

• Coarse Vacuum: 760 - 1 Torr
• Rough Vacuum: 1 Torr - 10^-3 Torr
• High Vacuum: 10^-4 - 10^-8 Torr
• Ultra High Vacuum: 10^-9 - 10^-12 Tor